真空蒸镀机安装调试总结

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     2013年-2015年6月，任职于厦门TPK有限公司，岗位为电气工程师，负责设备电气方面元件选型，电气图纸绘制，电气程序（plc，触摸屏）编写，设备接线，程序调试。

      在触摸屏行业，蒸镀是一种很常见的工艺，形成有机层的最常用的方法是“蒸镀”。蒸镀类似于蒸发。在锅里烧开水时，蒸气就行成锅盖上的露水。不同之处在于蒸镀使用有机材料代替水，并且在真空状态而不是在正常的大气压力下进行加热。蒸镀必须先在真空中进行，也就是在称为真空室的设备中进行。制造好的大型LTPS背板，在真空室内进行彩色图案化。

　　一旦LTPS制造好并放置在蒸镀真空室中，然后就是在LTPS基板下面放置精密的金属掩模板(FMM)。掩模板是在薄钢板上有刻有小孔的器件，所以当有机材料蒸镀时，它只能沉积在特定的位置。当掩模板准备就绪时，将蒸发源放在其下，并将其加热到适当的温度。当加热开始时，分子单元中的有机小分子穿过掩模并积淀到预期位置。   真空蒸镀：真空中通过电流加热，电子束轰击加热和激光加热等方法，使被蒸材料蒸发成原子或分子，它们随即以较大的自由程作直线运动，碰撞基片表面而凝结，形成薄膜。所以要求镀膜室里残余分子的自由程大于蒸发源到基片的距离，保证镀膜的纯净和牢固。

设备工作原理：利用电阻产生热能，将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在基片表面析出的过程。OLED蒸镀分为有机材料蒸镀和无机蒸镀，有机材料蒸镀：在高真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发源，加热蒸发源蒸镀有机材料，并利用石英晶体振荡器来控制膜厚。ITO玻璃基板放置在样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案；无机蒸镀：在有机材料薄膜蒸镀完成后进行蒸镀，用于金属电极蒸镀的源通常采用钼、钽和钨等材料制作，以便用于不同的金属电极蒸镀(主要是防止舟金属与蒸镀金属发生化学反应)。

       说实在的，我们部门以前没有做过这种设备，但是我们公司有购买一台，所以其实我们相当于仿造这台设备，并把客户反映的该台设备的缺点进行改进。蒸镀系统结构包括：操作接口、Infeed Load/Lock传输腔体、Plasma真空腔体、有机蒸镀真空腔体、金属蒸镀真空腔体、材料蒸镀控制柜、手套箱、气体循环系统。

      以下为客户发过来的技术要求：

     1. 设备名称：真空蒸镀机；

     2. 设备规格：

       电源电压：3相 380V  50Hz

       气压： 0.6Mp

       根据技术要求，选择电气元件，PLC选择Smart 1200 PLC,断路器，交流接触器选择施耐德，触摸屏选择威纶触摸屏，伺服电机选用松下电机，气缸传感器一般选择自己佩带，开关电源选择明纬开关电源，其它电气元件选择普通电气元件即可。

      1）在设备安装完成后，先用万用表测量交流电路，直流电路是否短路，交流与直流电路是否短路，检测完成，上电，对IO点进行确认，保证IO点与电气图纸的IO点一致，以免程序灌进去以后误动作；

      2）客户反映的Plasma真空腔体问题。Plasma真空腔体包括调节挡板（shutter）、机械泵阀门（valve）、分子泵、观察窗、Plasma电源、Ar、O2、CFX进气管道、真空度监测系统、电极板、托盘（两电极板之间）和N2充入阀门等。N2气体比较危险，原先设备没有N2检测浓度，危险性比较大，增加N2浓度报警。